สมาธิ หมายถึง ภาวะที่จิตตั้งมั่น ในที่นี้หมายเอาสมาธิชั้นวิปัสสนา คือ การรู้แจ้งเห็นชัดในขันธ์ ๕ ตามกฎของไตรลักษณ์ มี ๓ ลักษณะ
๑.สุญญตสมาธิ ความตั้งมั่นโดยความเป็นของว่าง หมายถึง สมาธิที่กำหนดจิตภาวนารู้แจ้งเห็นชัดรูป-นาม ในขันธ์ ๕ ว่าเป็นของว่าง โดยอาศัยการเห็นรูป-นาม ในลักษณะของอนัตตา คือ ความเป็นสภาพว่าง เป็นต้น จนจิตตั้งมั่นถอนความยึดถือความเป็นตัวตนได้
๒.อนิมิตตสมาธิ ความตั้งมั่นโดยหานิมิตมิได้ หมายถึง สมาธิที่กำหนดพิจารณารู้แจ้งเห็นชัดรูป-นาม ในขันธ์ ๕ ว่าเป็นสิ่งไม่มีเครื่องหมายกำหนด โดยอาศัยการตามเห็นรูป-นาม ในลักษณะของอนิจจตา คือ เป็นสิ่งเกิดขึ้นแล้วดับไป เป็นต้น จนจิตตั้งมั่นถอนความเห็นที่คลาดเคลื่อนจากความจริงในรูป-นามได้
๓.อัปปณิหิตสมาธิ ความตั้งมั่นด้วยหาที่ตั้งมิได้ หมายถึง สมาธิที่กำหนดพิจารณารู้แจ้งเห็นชัดรูป-นาม ในขันธ์ ๕ ว่าเป็นสิ่งไม่น่าปรารถนา โดยอาศัยการตามเห็นรูป-นาม ในลักษณะของทุกขตา คือ เป็นสิ่งทนอยู่ได้ไม่นาน เป็นต้น จนจิตตั้งมั่นถอนความอยาก ในความเป็นสัตว์หรือสังขารได้
สมาธิกับวิโมกข์ มีความเกี่ยวเนื่องสัมพันธ์กัน คือ สมาธิเป็นเหตุของวิโมกข์, วิโมกข์เป็นผลที่ได้จากสมาธิ
ภาวนา หมายถึง การอบรม การบำเพ็ญ การเจริญ หรือการทำให้มีให้เป็นขึ้น กล่าวในทางปฏิบัติ คือ การบำเพ็ญกัมมัฏฐาน ในที่นี้มุ่งเฉพาะส่วนที่เป็นสมถะ มี ๓
๑.ปริกัมมภาวนา ภาวนาในบริกรรม หมายถึง การสำรวมจิตกำหนดถึงอารมณ์ของกัมมัฏฐานอย่างใดอย่างหนึ่ง ทั้งที่เป็นส่วนวัตถุสำหรับเพ่ง เช่น กสิณ ๑๐ ทั้งที่เป็นอารมณ์สำหรับนึก เช่น อนุสสติ ๑๐ แล้วทำบริกรรมภาวนาในใจไปพร้อมกับการเพ่งหรือนึกนั้น จนจิตจดจ่ออยู่กับวัตถุหรืออารมณ์ที่ภาวนา
๒.อุปจารภาวนา ภาวนาเป็นอุปจาร หมายถึง ภาวนาที่จวนจะสงบอย่างแท้จริง เป็นการบำเพ็ญภาวนาที่มีภาพนิมิตติดตาปรากฎเกิดขึ้นแก่ผู้บำเพ็ญกัมมัฏฐาน ด้วยการเพ่งวัตถุ แม้จะไม่ได้ลืมตาดูก็สามารถกำหนดจำวัตถุที่เพ่งนั้นได้ หรือในขณะที่นิวรณธรรมสงบระงับ จิตใกล้จะแนบแน่นในอารมณ์ ซึ่งเกิดขึ้นแก่ผู้บำเพ็ญกัมมัฏฐานด้วยการนึกอารมณ์ ๑๐ อย่าง คือ พุทธานุสติ, ธัมมานุสติ, สังฆานุสติ, สีลานุสติ, จาคานุสติ, เทวตานุสติ, อุปสมาสติ, มรณัสสติ, อาหาเรปฏิกูลสัญญา, จตุธาตุววัตถาน
๓.อัปปนาภาวนา ภาวนาเป็นอัปปนา หมายถึง ภาวนาอย่างแนบแน่น ภาวนาชนิดนี้จะเกิดขึ้นเฉพาะแต่ผู้บำเพ็ญกัมมัฏฐาน ชนิดเพ่งวัตถุ บำเพ็ญกัมมัฏฐาน ๓๐ อย่าง คือ กสิณ ๑๐ อสุภะ ๑๐ อรูป ๔ อัปปมัญญา ๔ กายคตาสติ ๑ อานาปาสติ ๑ เป็นการภาวนาในขณะที่ปฏิภาคนิมิตปรากฎขึ้น จนจิตแนบแน่นมีอารมณ์เป็นหนึ่งในนิมิตที่เพ่งนั้น เป็นขั้นอัปปนาสมาธิ ถือเป็นขั้นสุดท้ายของการบำเพ็ญสมถกัมมัฏฐาน
